ウェハ欠陥検査装置 アテル株式会社

全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能

  • 薄型ウェハ・貼り合わせウェハの自動欠陥検査
  • Atel 社オリジナルの光学エンジン(特許出願中)搭載
  • 凹凸欠陥専用検出センサー
  • 専用欠陥画像抽出アルゴリズム
  • ノイズ成分除外フィルター
  • オプションで表面検査(PAD針痕・マーキング品質)可能

アテル株式会社(日本)

アテル株式会社は特殊ウェハ対応と目視検査の自動化に貢献します。ウェハクリーン搬送ロボットから事業を開始し、特に80um以下の薄いウェハや15mm以上反りがあるウェハなど特殊ウェハの搬送では数多くの実績があります。また、近年ではウェハ欠陥検査装置の開発・製造を行っており、人手をかけてでも目視で検出したいキズ、ムラ、異物の自動欠陥検出を可能にします。マニュアル機から完全自動機まで幅広い顧客ニーズに対応しています。

ウェハ裏面 欠陥検出内容

①バックグラインド工程による加工時の欠陥
   ・スクラッチ、打痕、パーティクル、ソーマーク欠陥

②ハンドリング時の欠陥
   ・ウェハ外周チッピング、欠け、マイクロクラック
   ・センター吸着時の擦り傷、裏面汚れ

③薄型ウェハ、貼り合わせ工程の欠陥
   ・十字クラック、マイクロクラック

④ウェハ裏面メタル工程による欠陥
   ・メッキ前のスクラッチ、打痕、パーティクル欠陥
   ・メッキ後のメッキ剥がれ欠陥、深スクラッチ
ウエハ自動欠陥検査装置_sub1.PNG

ウェハ外観検査マクロミクロ装置

顕微鏡による検査、チルトドライブによるムラ検査を行う装置です。

  • 顕微鏡メーカー品各種搭載可能
  • 線幅測長機能、BOXマーク検査、PAD針痕検査が可能(オプション)
  • 薄型ウェハ搬送、非接触搬送、TAIKOウェハ搬送に対応
  • インキングマーカー、レーザーマーカー搭載可能(オプション)
ウェハ外観検査マクロミクロ装置.PNG

300mmウェハ用外観検査マクロミクロ装置

EFEM搭載300mmウェハ検査用顕微鏡

  • チルトマクロドライブ搭載 
  • ミニエン(ULPA仕様)
  • マップソフト対応(オプション)
  • 測長ソフト
  • KRFファイル対応
  • インキング搭載
  • レーザマーカー搭載
  • GEM300対応
300mmウェハ用マクロミクロ外観検査装置.PNG

対応するローダー・ソーター装置

卓上ソーター.PNG

卓上ソーター装置

卓上顕微鏡ローダー.PNG 卓上顕微鏡ローダー


大型装置用搬送ローダー.PNG 大型装置用 搬送ローダー
FOUPロードポート対応EFEM搭載.PNG

FOUPロードポート対応EFEM搭載


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