ウェハ搬送用クリーンロボット

運べるまで、あきらめない

25年以上に亘りクリーンロボットの開発設計に携わってきたアテル社は、独自のシンプルな構造を採用する事により、低コストで短納期を可能にするクリーンロボットを開発。
半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ製造装置向けに開発された多数の製品群は、様々なお客様のご要望に着実に対応し、それぞれの装置において基板搬送技術をしっかりと支えています。
また、ディスクトップ環境での卓上型ウエハ搬送ロボットを開発し、そのロボットを搭載した卓上型搬送システムの販売を開始。
この卓上型搬送システムは、MEMS、LED、ナノインプリント、パワーデバイス、太陽電池分野の各種製造・検査装置の自動搬送を手軽に実現する画期的なシステムです。
既存装置へのレトロフィットにも、柔軟に対応します。

アテル株式会社(日本)

アテル株式会社は広島県福山市にある、半導体向け製造装置、検査装置を設計・開発・製造するメーカーです。

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