ウェハ外観検査装置 ED-Scope オプティテック

ウェハ検査の常識を変える

ED は「Emerge Defect」の略で「欠陥が浮かび上がる」という意味です。
オプティテック社独自の光学系技術と画像処理技術をコラボさせることにより、これまで検査しても発見が難しかった欠陥を液晶モニター上に浮き上がらせます。深さ(Z方向)は ナノレベル、視野範囲(XY方向)はマクロ観察が可能となり、短時間で欠陥を検出することが可能になりました。

今まで目視では検査が困難であったシリコンウェーハ表面膜や基板上に生じる欠陥、スクラッチ・クラック・ディンプル・ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク・ボイド・異物などを誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価することが可能になります。
また、ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な研磨痕・オレンジピール・スクラッチ・脈理・結晶欠陥等についても、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さの管理・研磨条件の設定も可能で、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。

また、オプションで人工知能(AI)・ディープラーニングによる画像検査機能を搭載することも可能です。

オプティテック(日本)

オプティテック社は、これまでは見えなかった欠陥を特殊光学系・CMOSカメラの組み合わせによりナノレベルの高さ精度で検出し、液晶モニターに表示することで広視野でナノ欠陥画像を可視化する装置メーカーです。検査員では判断しにくいナノ欠陥画像をより見やすくすることでだれでも判断を可能とし、人の手間を減らして検査効率よく正確性を上げたシステム検査製品を提供します。

他装置とED-Scopeとの観察画像の比較

 

ED-scope_sub1-1.PNG
シリコンウェハ 点・ボイド・スクラッチ欠陥
ED-scope_sub1-2.PNG
シリコンウェハ 研磨痕・ボイド欠陥
ED-scope_sub1-3.PNG
CMOSカメラ水晶基板 加工変質層欠陥
ED-scope_sub1-1.PNG 人工石英 オプティカルフラット状のスクラッチ欠陥

装置が対応する検査視野・欠陥サイズの範囲

ED-scope_sub装置別対応範囲3.PNG

製品動画


KARO IV

KARO 5.0 Press Release

ズーム&微動チルトステージ仕様 VーScope

  • 広視野をリアルタイムにNano検査
  • 見えない欠陥を可視化する画像検査装置
  • 多種ウェハの表面欠陥(スクラッチ・ウォータマーク・ディンプル・研磨痕 等)
  • 多種ウェハのクラック観察・ボイド観察・各種薄膜のムラ観察
  • ガラス・水晶・サファイア内部の欠陥・脈理観察・表面欠陥
V-scope_main.PNG


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