高精細ポリイミド・コーター 「Twin-air」- 株式会社エンジニアリング・ラボ

特許技術ツインエア方式 高精細ダイレクトコーティングと大幅コスト削減

  • ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減
  • 必要な位置に、必要な量を、高精度にコーティング
  • ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能
  • モジュール/チップレベルのダイレクト・コーティング
  • ウエハ全面に、パッシベーション厚膜コートを実現
  • エッジカット処理(リンス工程)不要、廃液ゼロ
  • ガードリング形成・局所コートでフォトリソ工程不要
  • 様々な高粘度液剤の塗布に対応
  • 数十~70万cps以上という低~超高粘度まで対応可能
  • 吐出中の液流、着液前後のモニタリングが可能

株式会社エンジニアリング・ラボ

株式会社エンジニアリング・ラボは、エンジニアリングシステム株式会社からTwin-air事業を分離独立、株式会社フコク東海およびダイナトロン株式会社の子会社として、2021年4月9日に設立しました。卓上機から量産機のカタログ装置だけでなく、長年の特注対応実績から自動装置改造など多様な顧客ニーズに対応します。2015年から販売開始した空圧式微細塗布装置「Twin-Air」は、独自の特許技術を持ち、100万cpsまでの高粘度液剤を100um以下で高精細に塗布することが可能です。液剤は、ハンダペーストや銀ペーストなど材料だけでなく、ポリイミドやレジストといった樹脂材料の塗布など、一台の装置で多様なアプリケーションを塗布可能です。電子部品業界だけでなく、半導体業界でもウェハレベル、チップレベルの工程への納入実績を伸ばしています。

https://www.eng-lab.co.jp/

「Twin-air」の特許技術と原理

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Twin-air Official Movie

特許技術のセルフサックバックのON/OFFの様子と、リアルタイムモニタリングで確認する液流・着滴の動画をご覧ください。

リアルタイムモニタリング side-view

ウエハレベル、モジュール・チップレベルのダイレクトコーティング

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製品ラインアップ

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試作・量産自動化・特注システム対応 WLC/MLCシリーズ
Twin-air_main.jpg量産用途 ES30シリーズ
Twin-air_sub4.jpg
R&D・生産用 RDXシリーズ
ESAJ.jpg卓上用 ESAJシリーズ

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