高精細ポリイミド・コーター 「Twin-air」 エンジニアリングシステム(株)

特許技術ツインエア方式 高精細ダイレクトコーティングと大幅コスト削減

  • ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減
  • 必要な位置に、必要な量を、高精度にコーティング
  • ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能
  • モジュール/チップレベルのダイレクト・コーティング
  • ウエハ全面に、パッシベーション厚膜コートを実現
  • エッジカット処理(リンス工程)不要、廃液ゼロ
  • ガードリング形成・局所コートでフォトリソ工程不要
  • 様々な高粘度液剤の塗布に対応
  • 数十~70万cps以上という低~超高粘度まで対応可能
  • 吐出中の液流、着液前後のモニタリングが可能

エンジニアリングシステム株式会社

エンジニアリングシステム株式会社は、1970年に長野県 松本で設立。医療機器事業と産業機器事業の2つの事業を行っており、長年の特注対応実績から装置改造など、多様な顧客ニーズに対応します。2015年から販売開始した空圧式微細塗布装置「Twin-Air」は、100万cpsまでの高粘度液剤を100um以下で高精細に塗布することが可能であり、電子部品業界だけでなく半導体業界でも実績を伸ばしています。ハンダや銀ペースト、樹脂材料だけでなく、ポリイミドやレジスト塗布など一台の装置で多様なアプリケーションで塗布可能です。

http://www.engineeringsystem.co.jp/automation/twin-air/production/#04

「Twin-air」の特許技術と原理

Twin-air_sub2-1.PNG
Twin-air_sub2-2.PNG

Twin-air Official Movie

特許技術のセルフサックバックのON/OFFの様子と、リアルタイムモニタリングで確認する液流・着滴の動画をご覧ください。

リアルタイムモニタリング side-view

ウエハレベル、モジュール・チップレベルのダイレクトコーティング

Twin-air_sub1-3.PNG

製品ラインアップ

Twin-air_E30.PNG
試作・量産自動化・特注システム対応 WLC/MLCシリーズ
Twin-air_main.jpg量産用途 ES30シリーズ
Twin-air_sub4.jpg
R&D・生産用 RDXシリーズ
ESAJ.jpg卓上用 ESAJシリーズ


お問い合わせ

お電話・FAXでのお問い合わせ

FAX 03-3506-3522

Webサイトからのお問い合わせ

テスト承ります!