UV-LED光源を標準搭載 低ランニングコストを実現
大画角高精細な投影露光装置を用途に応じ、カスタマイズして提供します。LED光源を標準で搭載しており、従来の水銀ランプ光源にくらべ、ランニングコストが約90%の削減になりました。(メーカー比較）
投影露光装置（UV-LED照明装置搭載）
サーマプレシジョン社は長年のレジスト塗布経験を生かし、塗布装置の開発を始め、露光装置の開発製造をしています。サンプルのよりウェーハおよび水晶など様々なアプリケーションに対応しております。
シリコン、サファイア、水晶、リチウムタンタレート等のあらゆるウエハ、セラミック、パッケージ等の基板に対して、サブμｍから数μｍの微細パターンを狙っているあらゆるフォトリソグラフィニーズに対応するために開発された応用露光機がＡＳＳシリーズです。高画角、高精細な投影レンズを、高精度アライメント可能なボディに搭載し、あらゆるウエハ、中サイズまでのパッケージ基板を、高効率で露光します。
ＭＭＳシリーズは、基板からウエハー、フィルムに至るまで、様々なベースに最適なパターンを高効率で形成することができるローコストなステッパータイプの投影方式露光装置です。独自の光学技術で高深度露光、高解像度、高生産性を実現します。パッケージ、タッチパネル、ＭＥＭＳなど最適な仕様選択が可能で、多彩なニーズに応えます。
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