多機能ウェハ測定機 SemDex

ITOCHU MACHINE-TECHNOS × sentronics metrology

  • ウェハ膜厚
  • ウェハ形状
  • 表面粗さ
  • 反り・応力
  • ガラス浸透率
  • カメラ機能

製品情報

ウェハ多機能測定機
SemDex A, SemDex M1・M2

複数アプリケーションを1台で実現できる
高速ウェハ測定・搬送システム装置
SemDex シリーズは、ウェハ単層、複数層、反り・歪み、表面粗さ、Taiko形状など複数アプリケーションを1台で対応する自動測定機です。
サブミクロン精度でSi層など単層厚み、総厚、反り・歪みを一度にまとめて測定可能です。
nmレベルの表面粗さ、TSVやミニバンプの形状も測定可能です。
多様なセンサー、カメラ、搬送機器、測定ステージを選択でき、お客様のご要望に応じた機器選定が可能です。
SemDex Aを量産、全数検査を想定した完全自動での高速ウェハ測定・搬送が可能な装置です。
SemDex M1は開発用途や抜き取り検査に対応した手置き仕様の半自動測定機です。
SemDex M2は開発用途から量産まで幅広い用途に対応した装置です。semDex M1導入後に搬送機器を取り付け、M2としてご使用いただくことも可能です。

主要アプリケーション

  • ウェハ厚み
    ウェハ単層、複数層、5um以下の薄膜(レジスト、SiO2など)、高ドーズウェハ厚
  • ウェハ形状
    ウェハ反り・歪み、応力、トレンチ幅・深さ、バンプ幅・高さ、Taikoリム幅・スロープ角
  • 表面粗さ
    ウェハ研磨後の表面粗さ、レーザーグルーブ粗さ
  • 膜形状
    ウェハ上の膜エッジ部形状
  • カメラ機能
    パターン認識、ウェハ直径・加工内径、貼り合わせズレ(偏心度)、アライメント
  • ガラス透過率
    サポートガラスの透過率

その他のアプリケーション実例についてはこちらから
お気軽に資料請求ください。

SemDex Official Movie

特徴

  1. 装置1台に最大8個までの
    測定センサー及びカメラを搭載可能
  2. 非接触・非破壊で高速測定ができ、
    全数検査に対応
  3. 自社でセンサー、カメラ、
    ソフトウェアを開発
  4. 最大10mmのウェハ反りを測定可能。
    フレーム付きウェハ、
    反りのあるウェハを搬送可能
  5. 世界中で180台以上の納入実績
    (日本国内実績を含む)

スループット

アプリケーション センサー型式 測定能力(全て8inch)
厚み1,000点測定 StraDex f 100枚/時
厚み10,000点測定 StraDex f 60枚/時
表面粗さ9点計測 StraDex a 60枚/時
薄膜10,000点計測 StraDex t 60枚/時

納入実績

  • 200mmウェハ 納入実績
    85(全自動機15、半自動機70台)
  • 300mmウェハ 納入実績
    80(全自動機65、半自動機15台)

測定実績例

Si -厚み計測 (グラインド、エッチング、 CMP後)

SCI 計測 @4 Khz (Roadmap: 50 kHz) は、ウェハ各層の厚み計測 が可能です。
下記が Si 計測(グラインド工程後)結果です。(同じ 装置、同じ8inchウェハで計測)

3D計測 (FOWLP向け)

高分解能のWLI(白色干渉計) と自動XY方向評価で 微地形測定, 表面粗さ、2D測定を表示し評価することができます。

反射光測定 (薄膜測定 (5nm-5µm))

レーザープラズマ、白色光を基にした反射光測定は、薄膜の全体測定マップを提示可能です。
(厚み5um、周波数 1kHzまで)

製品の仕様・用途などお気軽にお問い合せください

装置メーカー情報

sentronics metrology GmbH(ドイツ)

sentronics metrology社は、2006年から膜厚センサーの開発・製造を開始し、主要技術である光学膜厚測定・3次元表面干渉測定・パターン認識等の技術を駆使し、顧客の様々な測定ニーズに応える企業です。常に新規センサ・カメラの開発を行っており、多様なウェハに対しての測定実績があります。
特に世界中のパワーデバイス顧客に納入実績を増やしており、通常SiとTaikoウェハの膜厚・表面粗さ・形状測定・反り・ガラスキャリアの透過率測定など多様なアプリケーションに対応可能しています。

伊藤忠マシンテクノスとは?

「工作機械」「産業機械」「食品・医薬品機械」のトータルソリューションを提供する技術志向の機械専門商社で、国際的な事業展開を行っております。
強みである技術力を活かし、伊藤忠グループのネットワークによる世界の最先端情報の活用によって、さらなる発展を目指しています。

伊藤忠マシンテクノスで産業機械を導入する3つの理由

  1. トータルソリューション
    国内/海外メーカーの装置導入実績多数。
    装置のご提案~納入・据付~アフターメンテナンスまで、トータルソリューションをご提供します。
  2. 商社の中でもハイクラスな技術力
    全従業員265名中、50名を超えるエンジニアが在籍しています。(2021年4月時点)
    経験豊富な弊社の技術者が責任をもってトータルソリューションを実現します。
  3. 伊藤忠グループという信頼
    長期間安定して稼働する産業機械の導入には、導入後も長く信頼できるパートナーが必要です。
    伊藤忠マシンテクノスはグローバルにビジネスを展開し、世界で信頼されるサービスを提供し続けてい
    る伊藤忠グループの中核会社です。

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