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超音波スプレーコーティング装置

（USI社，アメリカ）

USI社 　 PRISM

 

ＵＳI社製PRISM装置は特許技術である超音波を利用したノズルレスのスプレーコーティング装置で、 従来の装置では得られなかった薄膜且つ高精度な塗工が可能です。
通常の超音波スプレーと違いノズルがない為、塗工に多くのメリットがあります。

 

装置概要

超音波技術が採用されている、スプレーヘッドは超音波ホーン、超音波変換器、超音波発生器、 外部液供給器及びエアー流路部で構成されております。 超音波変換器は超音波ホーン先端を効率良く振動 させ、外部液供給器から供給された塗工液をサブミクロン サイズの液滴に分散します。ノズルはありません

特徴
  1. 超音波振動が塗工液を細かく分散し、薄膜且つ 高精度な塗工が可能
  2. エアーはスプレイパターン生成のみの使用の為、オーバースプレー及びスプレイの跳ね返りは殆ど無し
  3. 塗工液使用効率95%～99%
  4. 噴霧パターンは約3mm～150mmで、様々なエリアを効率良く塗布可能
  5. 塗工エッジ部もシャープで均一な塗工が可能
  6. サブミクロンの薄膜塗工が可能（材料による）
  7. 特許ノズルレスヘッドにより塗工液の詰まりが無く、メンテナンスが容易

 

ノズルレスのスプレーコーティング装置


塗工用途
  1. フラットパネルディスプレイ用途
    （フォトレジスト、ハードコート等）
  2. 半導体用途
    （BGAsへのフラックス塗布、フォトレジスト）
  3. 燃料電池用途
    （貴金属触媒、セラミックスベース材料）
  4. 太陽電池用途
    （ドーパント塗布、反射防止膜（AR））
  5. 医薬用途
  6. 導電性材料（銅、カーボン、アルミニウム）
    その他　MEMS等への塗工

 

 

 

狭幅塗布用スプレーヘッド
（狭幅塗布用スプレーヘッド）


 

新製品

太陽電池用途向けスプレー装置

USI社では、噴霧幅最大150mm幅のヘッドを利用した太陽電池用途の装置も取扱っております。
　
●装置特徴　

  1. 125mmサイズのウエハーの場合、3,000枚／時の処理能力
  2. １ｍ幅サイズのガラス基板への塗布も可能
  3. ドーパント塗布、反射防止（AR塗布）で多くの実績有り

 

 

＊USI社ホームページにて各種コーティング状況をご覧頂けます。 http://www.ultraspray.com/library/videos

 

 

太陽電池用スプレー装置
（太陽電池用スプレー装置）
広幅塗布用スプレーヘッド
（広幅塗布用スプレーヘッド）


食品・医薬品製造機械